高頻靜電除塵比工頻靜電除塵造價較高，好處就是能更有效捕集高比電阻的微小粉塵，此外，也更省電。
氣體除塵方法的一種。含塵氣體經過高壓靜電場時被電分離，塵粒與負離子結合帶上負電后，趨向陽極表面放電而沉積。在冶金、化學等工業中用以凈化氣體或回收有用塵粒。
利用靜電場使氣體電離從而使塵粒帶電吸附到電極上的收塵方法。在強電場中空氣分子被電離為正離子和電子，電子奔向正極過程中遇到塵粒，使塵粒帶負電吸附到正極被收集。當然近年來通過技術創新，也有采用負極板集塵的方式。以往常用于以煤為燃料的工廠、電站，收集煙氣中的煤灰和粉塵。冶金中用于收集錫、鋅、鉛、鋁等的氧化物，現在也有可以用于家居的除塵滅菌產品。
